CF - UHV Flanschbauteile
Um den UHV-Bereich schnell zu erreichen, empfehlen wir, die Anlage mit
laufender Pumpe bei ca. 300 °C auszuheizen.
Elastomerdichtungen können deshalb nur zum Test verwendet werden. Sämtliche
Flanschverbindungen müssen für den UHV-Bereich mit OFHC-Kupfer-Dichtungen
(OFHC= Oxygen-Free-High-Conductivity = Sauerstoff freies Kupfer mit sehr
geringer Gasabgaberate und hoher Leitfähigkeit) abgedichtet werden. Der
CF-Flansch entspricht dem ConflatË-Flansch.

CF-Hauptmaße:

Typ	A	B	C	Anzahl der
CF	mm	mm	mm	Bohrungen
DN 16	 34,0	 27,0	4,3	 6
DN 40	 69,5	 58,7	6,7	 6
DN 63	113,5	 92,2	8,4	 8
DN 100	152,0	130,3	8,4	16
DN 150	202,5	181,0	8,3	20
DN 200	253,0	231,8	8,3	24
DN 250	306,0	284,0	8,3	32

CF-Dichtprinzip:
Der Kupfer-Flachring fügt sich mit leichtem Spiel in die Flanschnut ein und
zentriert dabei das Flanschpaar. Beim Verschrauben der Flansche werden durch
die Anpresskraft die Edelstahl-Schneidkanten der Flansche zur guten
Abdichtung tief in die weiche Kupferdichtung gedrückt. Durch die Schräge der
Schneidkanten zur Atmosphärenseite hin wird Dichtungsmaterial nach außen in
die Zentrierung gepresst, so dass auch bei hohen Temperaturen ein weiteres
Fließen des Materials nicht möglich ist. Die Kupferdichtung ist nur einmal
verwendbar.

Für die Lecksuche an zugeflanschten Rezipienten wird die Schnüffelsonde
des Lecksuchers direkt in die Lecksuchnut der Flansche gesteckt und damit
unmittelbar an die Dichtung geführt.

Alle Bauteile mit zwei oder mehr Flanschen besitzen mindestens einen drehbaren
Flansch. Dadurch können Manipulatoren, Stromdurchführungen usw. in die
gewünschte Position ausgerichtet werden.

Fenster und Stromdurchführungen sollen nur mit geglühten
OFHC-Kupfer-Dichtungen an Rezipienten angebracht werden. Geglühte Dichtungen
sind weicher und verringern Materialspannungen. Eine sorgfältige, fachgerechte
Montage ist wichtig.

verwendetes Material:
- Edelstahl 1.4571
- kundenspezifische Wünshce werden, wenn technisch möglich, berücksichtigt

ILMVAC fertigt für Sie UHV-Rezipienten aller Abmessungen und Ausführungen bei
kurzen Lieferzeiten und einem günstigen Preis. Eine fachgerechte Ausführung,
eine optimale Oberflächenbehandlung und Werkstoffqualität garantieren
niedrigste Gasabgaberaten und die Ausheizbarkeit bis 450 °C. Auf Wunsch
erhalten Sie Werkzeugnisse, Werkstoffzeugnisse und Helium-Dichtheits-
Prüfbescheinigungen.