Feinvakuummeter - Messbereich 1 mbar bis ca. 10^-3 mbar.

Zur Druckmessung wird die Wärmeleitfähigkeit der Gase genutzt. Diese
Messgeräte werden häufig als Pirani-Vakuummeter bezeichnet. Sie besitzen als
Messfühler einen dünnen geheizten Metallfaden, welcher Bestandteil einer
geregelten Messbrücke ist. Die benötigte elektrische Energie zur Erhaltung
einer bestimmten Temperatur dieses Messfadens ist druckabhängig und wird daher
als Maß für den Druck verwendet.
Das Messprinzip ist gasartabhängig.

Die Geräte sind vielfältig einsetzbar. Der mögliche Messbereich liegt vom
Grob- bis zum Feinvakuum. Die Messwerte werden auf übersichtlichen LED-
Anzeigen dargestellt.