Grobvakuummeter - Messbereich Atmosphäre bis 1 mbar.

Neben den klassischen Vakuummetern mit mechanischer Messwertabtastung (z.B.
Bourdon-, Kapselfeder-) finden inzwischen Membranmanometer mit elektronischer
Abtastung der Membran sehr starke Verbreitung. Dabei wird das zu messende
Vakuum durch eine Membran getrennt mit einem Referenzvakuum verglichen. Die
ausgelenkte Membran wird dabei entweder durch einen piezoresistiven Aufnehmer
abgetastet (Piezosystem), oder die Membran ist Teil eines Kondensators
(kapazitives System). Die Trennmembran besteht häufig zur besseren chemischen
Beständigkeit aus Aluminiumoxid-Keramik.
Die Druckanzeige dieser Geräte ist gasartunabhängig.