Mehrbereichs- und Hochvakuummeter - Messbereich 2000 bis 6 x 10^-10 mbar.

In diesem Bereich werden Piezo-, CAP-, Mikropirani-, Kombi-, Heiß- und
Kaltkathodensensor eingesetzt, welche nach verschiedenen Messprinzipien
arbeiten.
Die Messprinzipien der Vakuummeter für den Hochvakuumbereich sind vorwiegend
gasartabhängig.