Zur Erzeugung von Hoch- und Ultrahochvakuum.
SST-Turbomolekularpumpen sind mit einer integrierten Grobvakuumstufe
ausgerüstet. Trockene, feststoffgeschmierte Hybridlager mit Keramikkugeln
vermeiden eine Beeinträchtigung des Vakuums durch Fette, Öle und deren
Zersetzungsprodukte.
Die SST-Turbomolekularpumpen umfassen die Saugvermögensabstufungen von 80, 300
und 500 l x s-1.

Anwendungen:
- für den Hoch- und Ultrahochvakuumbereich
- im Bereich der Analysentechnik
- Elektronenmikroskopie
- Oberflächenanalyse
- in der Halbleiterindustrie bei Sputterprozessen, Ätzen
- im Bereich der Forschung
- für Lecksucher
- Herstellung optischer Schichten

Besondere Merkmale:
- Monoblock-Rotore mit extrem geringen Restschwingungen
- spezielle Schaufelstruktur für hohes Saugvermögen und Kompressionsverhältnis
insbesondere auch bei leichten Gasen
- spaltfreier Rotoraufbau und damit schnell entgasende Hochvakuumseite
- Vorvakuum-Grenzdruck bis zu einigen mbar
- ölfrei, dadurch keine selbstproduzierten leichten Gase aus Crackprodukten
von Kohlenwasserstoffen
- beliebige Einbaulage
- hohe Laufruhe, minimale Geräuschentwicklung
- wartungsfrei bei Normalbetrieb
- kleine Abmessungen, geringes Gewicht
- wahlweise Luft- und Wasserkühlung

Hinweis:
Enddruckangaben bzw. Bestimmung des Enddruckes nach DIN 28428:
Druck der im definierten Messdom nach 48 Stunden und 24-stündigem Ausheizen
der Messanordnung erzielt wird. Der Hochvakuumflansch (Saugflansch) der
Turbomolekularpumpe ist dabei metallgedichtet, das heißt er ist als ConFlat
(CF) Flansch ausgeführt.

Lieferumfang:
SST-Turbomolekularpumpe komplett anschlussfertig mit Controller einschließlich
3 m Kabel, Splitterschutz und Lüfter.

Turbo-Einzelkomponenten, siehe Vakuum-Gerätezubehör für Turbomolekularpumpen.