Für die Erzeugung eines Vakuums vom Grob- bis in den Hochvakuumbereich kommen
unterschiedliche Pumpprinzipien zum Einsatz. So z.B. für den
- Grobvakuumbereich = Membranpumpen,
- Grob- und Feinvakuumbereich = Scroll- und Drehschieberpumpen,
- Hoch- und Ultrahochvakuumbereich = Turbomolekular- und Öldiffuionspumpen
(in Kombination mit Membran-, Scroll- und Drehschieberpumpen als Vorpumpen)